電子行業對超純水的要求：

電阻率MΩ.cm（25℃） 18以上（95%時間）不低于17 15（95%時間）不低于13

硅≤μg/l 2 10

>1μM微粒數≤個/ml 0.1 5

細菌個數≤個/ml 0.01 0.1

銅≤μg/l 0.2 1

鋅≤μg/l 0.2 1

鎳≤μg/l 0.1 1

鈉≤μg/l 0.5 2

鉀≤μg/l 0.5 2

氯≤μg/l 1 1

硝酸根≤μg/l 1 1

磷酸根≤μg/l 1 1

硫酸根≤μg/l 1 1

總有機碳≤μg/l 20 100